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電子級氣體
Electronic Grade Gas
CH3F
CH4
CHF3
CL2
CO
D2
F2
H2
HBr
SF6
SiH2Cl2
Xe
氬氣
砷化氫
三氯化硼
三氟化硼
六氟乙烷
八氟丙烷
八氟環丁烷
四氟化碳
二氟甲烷
磷化氫
四氟化矽
三氯氫矽
Ar
AsH3
BCL3
BF3
C2F6
C3F8
C4F8
CF4
CH2F2
PH3
SiF4
SiHCl3
鹽酸
氦氣
氪
氮
一氧化二氮
氖
三氟化氮
氨氣
一氧化氮
四氯硅烷
Mixture
4N5 5N
6N
5N
6N
5N 5N5
5N
4N5
5N 5N5 6N4
3N
3N4
HCL
He
Kr
N2
N2O
Ne
NF3
NH3
NO
SiCl4
SiH4
6N
5N5 6N 6N5
4N5 5N 5N5
4N5
5N
5N
5N
5N
4N
5N7 6N
4N
5N
4N5
4N,4N5,5N
5N
5N
4N5
5N
5N
5N
5N
3N
5N
氟甲烷
甲烷
三氟甲烷
高純氯
一氧化碳
氘氣
Mixture
氫氣
溴化氫
六氟化硫
二氯矽烷
氙
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