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工業混合氣體
Industrial Gas
混合氣組成(%)
類別
氦氖雷射混合氣
CO2雷射混合氣
氪氟雷射混合氣
密封束雷射氣
準分子雷射氣
H2
Ne
Ar
N2
CO2
平衡氣
Kr
F2
Xe
CO
HCI
2-8.3
0.15
0.15
0.4
18
18
14
21
13.5
13.0
8.0
6.0
16.0
8-12
4.5
7.0
8.0
8.0
16.0
6-8
5
5
2.0
4.0
2.0
4.0
5.0
10.0
1-
0.2
18.5
3
2.5
25.8
9.8
0.004
1
5
0.2
5.0
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